ÂÁ̼»¯¹è AlSiC (Al/SiC, SiC/Al) ÊÇÒ»ÖÖ¿ÅÁ£ÔöÇ¿ÂÁ»ù¸´ºÏ²ÄÁÏ£¬²ÉÓÃÂÁºÏ½ð×÷Ϊ»ùÌ壬SiC×÷ΪÔöÇ¿Ì壬³ä·Ö½áºÏÁËÌմɺͽðÊôÂÁµÄ²»Í¬ÓÅÊÆ£¬ÊµÏÖÁË·â×°ÁËÇá±ã»¯¡¢¸ßÃܶȻ¯µÈÒªÇó¡£
AlSiCÃܶÈÔÚ2.95~3.1g/cm3Ö®¼ä£¬ÈÈÅòÕÍϵÊý£¨CTE£©6.5~9ppm/¡æ£¬¾ßÓпɵ÷µÄÌå»ý·ÖÊý£¬Ìá¸ß̼»¯¹èÌå»ý·ÖÊý¿ÉÒÔʹ²ÄÁϵÄÈÈÅòÕÍϵÊýÏÔÖø½µµÍ¡£Í¬Ê±£¬ÂÁ̼»¯¹è»¹¾ßÓиߵÄÈȵ¼Âʺͱȸնȣ¬±íÃæÄܹ»¶ÆÄø¡¢½ð¡¢Òø¡¢Í£¬¾ßÓÐÁ¼ºÃµÄ¶Æ¸²ÐÔÄÜ¡£
Ãܶȣ¨g/cm3£© | ¡Ý2.95 |
Èȵ¼ÂÊ£¨(W/m.K) @25¡æ£© | 200 |
ÏßÅòÕÍϵÊý(CTE) ppm/¡æ | 6.5~9 |
µ¯ÐÔÄ£Á¿(G Pa) | 200 |
¿¹ÍäÇ¿¶È(M Pa) | 400 |
µç×èÂÊ(¦Ì¦¸¡¤cm) | 21 |
ÆøÃÜÐÔ(atm-cm3/s He) | <10-9 |
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²ÄÁÏ | ³É·Ö | ÃܶÈ(g/cm3) | ÈÈÅòÕÍϵÊý (10-6/K) | Èȵ¼ÂÊ(W/mK) |
AlSiC | Al+(50%-70%)SiC | 3.05 | 6-9 | 180-240 |
CuW | W+(10%-20%)Cu | 15.6-17.0 | 6.5-8.3 | 180-200 |
CuMo | Mo+(15%-20%)Cu | 10.00 | 7.0-8.0 | 160-170 |
AlSi | 50%Al+50Si | 2.55 | 11.4 | 126 |
Kovar | Fe+Ni | 8.10 | 5.9 | 17 |
Cu |
| 8.96 | 17.8 | 398 |
Al |
| 2.70 | 23.6 | 238 |
Si |
| 2.30 | 4.2 | 151 |
GaAs |
| 5.23 | 6.5 | 54 |
Al2O3 |
| 3.60 | 6.7 | 17 |
BeO |
| 2.90 | 7.6 | 250 |
AlN | 98%purity | 3.30 | 4.5 | 160-200 |